激光焦點分析儀在激光加工行業的應用

伴隨紫外激光和超快激光普遍用于半導體、面板和生物醫學行業等行業，激光精細微加工和顯微分析測試已成為常用工具。由于加工區域需要控制在幾μm級別精度，只是測量激光功率或能量的強度和穩定性已經不能滿足常規的加工質量管控要求，激光加工，尤其是紫外/超快微加工中，由于激光器輸出特性、光路的微小變化，導致焦斑的尺寸、位置變化，影響加工效果和一致性，因此在激光加工方面，我們需要對激光“看到”更多的細節，比如光斑大小、峰值中心位置、幾何中心位置、橢圓度、2D/3D 光斑形貌等參數。

此前，測量激光的精細參數，需要光學工程師在現場搭建焦斑測量的光路，造成大量的停機時間，影響生產效率；先鋒科技密切關心客戶的需求，基于長時間服務于激光光束品質的經驗，開發出整體式焦斑測量儀。該儀器體積小、光路靈活、分辨率高、測量結果準確，只需要簡單的擺放對準調節即可秒出結果，既可以圖形化直觀顯示焦斑是否正常，也可以獲取強度分布數據，一經推出即引起強烈的市場反響，并于近期獲得激光行業-榮格技術創新獎。

該精密激光焦點分析儀測量精度可達1um以下, 簡化、加速了對激光微加工系統焦點光斑進行測量分析的過程，增強測試結果的可靠性，提升產線生產效率并確保生產制程的穩定性，是紫外/超快激光微加工應用中的得力工具，可廣泛用于激光精細切割和焊接，超快激光聚焦分析、面板和半導體加工、生物醫學顯微測試方向。

主要特點：

A．一維\二維\三維形象顯示激光的光強分布輪廓,明確生動看出激光光束質量的好壞;

B．可測焦點光斑直徑、峰值中心、中心點能量密度強弱和位置、光斑橢圓度、高斯匹配度等;

C．實時觀測光斑峰值中心位置的變化,測量激光點穩定性，了解光斑的變化情況;

D．噪聲逐點扣除功能，保證了測量激光的各參數的準確性；

E. 可配合不同類型大功率近場成像鏡頭，小可以測量光斑大?。?um；

F. 一體化緊湊設計，方便集成于系統，支持二次開發；

G. 確定激光加工焦點位置，提升激光加工性能；

先鋒科技是專業從事光電相關領域內與科研、生產等環節密切相關的儀器系統集成業務的綜合服務商，業務范圍涵蓋各著名高等院校和大型生產型企業。目前技術深度融合，我們將發揮自身技術優勢，基于已有的光譜技術，精密位移技術，光檢測技術，與高等院校研究單位密切合作，逐步完善已有的光譜類，激光檢測類產品，開創研發創新新篇章